Strasbaugh CMP 晶圓拋光機
Entrepix 與三種不同型號的 Strasbaugh CMP 設備合作。
Strasbaugh 6DS-SP nTegrity
規格與功能：
全自動精密拋光
非常適合需要重複性與操作及加工彈性的應用
自動化晶圓處理
可在單一壓盤上打磨兩片晶圓，最大化產能和產量
移除材料以打磨晶圓，並在毯狀或圖案化元件晶圓上達到平面度、均勻度和平面化
加工彈性
可重複的結果
晶圓尺寸為 100 公釐至 200 公釐
Strasbaugh 6EC nSpire
規格與功能：
適用於研究、故障分析和小量生產的經濟型 CMP 工具
可透過彩色觸控螢幕編程的半自動操作
可重複的精確製程控制
標準配一台渣漿泵，可選配第二台
小尺寸：48" x 37" x 72"
墊子調節
晶片尺寸為 4 吋、6 吋或 8 吋
Strasbaugh 6EG nHance
規格與功能：
適用於研究、故障分析和小量生產的經濟型 CMP 工具
可透過彩色觸控螢幕編程的半自動操作
可重複的精確製程控制
可在單一壓盤上打磨兩片晶圓，最大化產能和產量
移除材料以打磨晶圓，並在毯狀或圖案化元件晶圓上達到平面度、均勻度和平面化
加工彈性
可重複的結果
晶圓尺寸為 300 公釐
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