CMP 頭部翻新服務
Head360™ 計畫
CMP 頭部翻新服務
降低 CMP 頭部翻新成本。縮短停機時間。提升良率。
Entrepix Head360™ 計畫是一套針對 Applied Materials Mirra® 及 Reflexion® 拋光系統所設計的全面性 CMP 拋光頭翻新與生命週期管理解決方案。與傳統的翻新計畫不同，每組翻新後的拋光頭均會在 Entegrity™ 拋光頭測試儀上進行 100% 功能測試，確保在拋光頭重新投入生產前，其性能已獲得書面驗證。
無論您需要 Titan、Profiler、Contour、EVO 或 Horizon 汽缸頭翻新服務，還是其他 CMP 汽缸頭相關服務，Head360 都能為您帶來更低的擁有成本、降低認證風險，並提升長期可靠性。
為什麼選擇 Head360？
大多數缸頭翻新服務商著重於讓缸頭恢復運作；Head360 則致力於降低您的總品質成本。
若氣缸蓋翻新品質不佳，可能會產生以下隱性成本：
資格審查未通過
意外的停機時間
製程不穩定性
晶圓缺陷與刮痕
產量損失
額外的工程時間
加急貨件
過早更換頭部
CMP 頭部翻新的真正成本，並非翻新發票上的金額，而是當其安裝在工具上後無法正常運作所造成的成本。
Head360 的獨特之處何在？
100% 通過 Entegrity™ 測試的翻新機
每顆翻新的汽缸蓋在出貨前，都會使用業界標準的 Entegrity 汽缸蓋測試機進行測試。
Entegrity 平台會驗證：
區域壓力反應
壓力與真空完整性
區間間滲漏
晶圓檢測功能
室內樂演出
針對特定機頭的操作參數
每次翻新工程均附有完整的測試報告，為製程工程師及維護團隊提供客觀的性能紀錄與歷史數據。
經驗豐富的 CMP 專家
我們的團隊由具備數十年 Applied Materials Mirra 及 Reflexion 拋光平台維修經驗的工程師與技術人員組成，可針對多代 CMP 拋光頭技術提供技術支援
以數據為導向的品質控制
大多數汽缸頭翻新服務商僅進行檢查與翻新。Head360 則會進行翻新、測試、量測、記錄及驗證。
透過 Entegrity 生成的效能數據，Entrepix 得以在磁頭重新投入生產前就發現問題。根據「Head360」內部計畫的數據及銷售資料顯示，相較於未進行同等功能測試與報告的翻新計畫，此基於測試的方法可將缺陷及認證相關故障率降低多達 4 倍。
Head2Head™ 基準比較流程
在做出決定前，先看看其中的差異
要開始使用 Head360，最簡單的方式就是透過我們的 Head2Head 比較性基準測試程式。
「Head2Head」流程讓客戶能在轉向更廣泛的翻新計畫之前，透過實際生產條件來評估 Head360 的性能。
品質成本比較
重建成本僅是其中一部分
| 成本因素 | 典型的重建計畫 | Head360™ 計畫 |
|---|---|---|
| 重建成本 | ⚠降低焦點 | ✔具競爭力 |
| 資格審查未通過 | ✖風險較高 | ✔經 100% 檢測後已減少 |
| 工具停機時間 | ✖更高 | ✔較低 |
| 工程調查 | ⚠頻繁 | ✔已調降 |
| 對收益的影響 | ⚠變數 | ✔已調降 |
| 測試文件 | ⚠數量有限 | ✔全面性 |
| 失效分析資料 | ⚠數量有限 | ✔包含在內 |
| 製程可視性 | ⚠數量有限 | ✔高 |
年度影響範例
對於營運多台 CMP 設備的晶圓廠而言，即使僅能略微降低認證失敗率，也能透過以下方式創造可觀的成本節省：
提高工具利用率
減少工程人力
減少晶圓報廢率
提升設備可用性
更完善的製程控制
緊急重建事件減少
由於每組翻新氣缸頭在出貨前均經過測試並記錄相關資料，Head360 的設計旨在解決 CMP 維護中最大的隱性成本：與翻新相關的製程偏差
支援的 CMP 主機平台
應用材料公司 Mirra® 噴嘴頭翻新服務
泰坦頭部翻新
Titan II 頭部翻新
Profiler 頭部翻新
Contour 頭部重建
自訂重建設定
應用材料公司 Reflexion® 噴頭翻新服務
泰坦頭部翻新
Profiler 頭部翻新
Contour 頭部重建
EVO 頭部翻新
Horizon 頭部組件翻新
自訂重建設定
所有翻新工程均包含完全拆解、檢查、更換磨損零件、重新組裝、校準、完整性測試，以及正式的測試文件。
準備好降低 CMP 品質相關成本了嗎？
請透過我們的「Head2Head」基準測試流程，將您目前的翻新計畫與 Head360 進行比較。