AMAT Mirra

Entrepix 為 Applied Materials Mirra、MirraTrak 和 Mirra Mesa CMP 系統提供零件、服務、升級和整套工具翻新。

單一來源滿足您所有的 Mirra 零件需求

Entrepix 是您購買 AMAT Mirra CMP 系統更換零件的最佳選擇 - 即使這些零件已經過時。無論您是為您的 UPA 系統尋找簡單的十字馬達或壓力傳感器，還是需要完全組裝和測試的拋光頭、HCLU 或墊片調節器，我們都能滿足您的需求。

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Entrepix 設備工程師是重建所有類型、尺寸和配置 CMP 磁頭的專家。

波蘭頭重建

我們經驗豐富的設備工程師是重建所有類型、尺寸和配置的 CMP 磁頭的專家。 我們擁有各種工具和知識，讓您每次都能在第一時間獲得功能最佳的壓頭。

重建你的頭腦

AMAT Mirra 升級

Entrepix 提供廣泛的應用材料公司 Mirra 平台升級，包括全新改良的磁頭旋轉電機和驅動器 (如右圖)、 襯墊調整和晶圓處理改良、鍍膜服務、晶圓滑動和漿流的感測解決方案，以及我們最新一代適合所有200mm 和 300mm 應用的 Entegrity 磁頭測試平台。

點選下方查看我們完整的 AMAT Mirra 升級清單。

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翻新的 Mirras，為您服務

需要擴展您的 Mirra 功能而不需要採購全新的平台嗎？Entrepix 翻新您現有的 Mirra 工具，包括

  • Mirra 3400 獨立型

  • MirraTrak

  • Mirra Mesa

我們也專精於 300mm Reflexion 工具的翻新，包括標準型和 Reflexion LK、LK Prime 及 LK Prime S 型。

專屬設計與製造服務可提升系統效能

 

Entrepix 工程團隊將為您打造。我們已為 CMP 設備（包括 AMAT Mirra 平台）開發了許多升級和定制工程解決方案。

您可能會認為這是魔法，但實際上是我們經驗豐富、富有創意的工程師團隊，他們瞭解並熱愛 CMP。