Entrepix Entegrity 上光頭測試儀

CMP 拋光頭測試儀

更聰明的 CMP 方法

Entrepix 的下一代封頭測試儀將資料交到您的手中,以達到減少停機時間和大幅節省成本的目的。

Entrepix 透過多年的測試與故障排除,設計出這款創新、受客戶喜愛的磁頭測試器。 現在,封頭測試步驟從傳統版本中簡單的驗證工具轉變為功能強大的故障排除平台。新的 Entrepix 測頭測試儀提供了強大的故障排除能力,幫助用戶撥號敏感的 CMP 製程,同時通過序列號追蹤每個測頭。我們的測試儀模擬晶圓脫卡,並自動檢查晶圓存在/不存在傳感器功能,同時追蹤測試數據,以進行統計製程控制。

提供適用於 Titan I、Titan II (Profiler) 和 Contour 研磨頭的 6 區域。

提供 8 區,適用於 Titan I、Titan II (Profiler)、Contour 和 EVO 研磨頭。

Entrepix 的磁頭測試器可即時監控磁頭腔體間的「串音」,並允許使用者中斷測試,以便更快速地排除腔體故障。

使用者友善,操作簡易

操作就像裝入拋光頭和啟動測試配方一樣簡單。新型 Entrepix 拋光頭測試儀還具有以下特點:

  • 易於使用的觸控螢幕介面

  • 頭型選擇

  • 晶圓缺失/晶圓存在感測器選擇用於除卡序列

  • 用於資料追蹤的磁頭序列化

  • 資料記錄與圖形介面

  • 網路相容或依使用者等級而定的 USB 介面,用於資料下載

  • 可客製化設定與配方儲存,適用於獨特的機頭配置

穩定的結果,增加正常運作時間

有興趣了解 Entrepix 的 Entegrity 拋光頭測試儀能為您做什麼嗎?請告訴我們您的需求,我們會盡快回覆您。

CMP 拋光頭測試儀
CMP 拋光頭測試儀