全新 Entrepix DSS-200

現代化的 OnTrak 已針對增加產能進行最佳化,為未來做好準備

新一代 OnTrak 系統來了,直接來自 OEM

現代化的 Entrepix DSS-200 雙面後 CMP 晶圓清洗機提供了與傳統 OnTrak 系統相同的熟悉功能,並針對當今清洗製程需求進行了大量升級。

身為 OnTrak 系統的 OEM,Entrepix 已設計出新的 DSS-200 OnTrak,提供您可信賴的可靠度與長效性支援與備件。

我們的 DSS-200 清潔員提供:

  • 可與傳統 OnTrak 系統進行零件交換

  • 過時零件的更換與現代化

  • 適用於 100-200mm 基板的配置

  • 使用客製化設計的載具,可容納較小的晶圓

DSS-200 有三種配置:CE、Synergy 和 Integra。

DSS-200 的應用包括

  • CMP 後清潔

  • 粘接前清潔

  • 攝影前清潔

  • 先進封裝應用

  • 金屬沉積後

  • 後 ILD 沉積

  • 訂閱後

  • 基板製造

OnTrak 升級

具有 OEM 支援的傳統 OnTrak 系統升級選項可供您使用,隨時待命。升級選項包括

  • 控制系統與軟體升級

  • 哈氏合金旋轉滑架

  • 高效率加熱燈

  • 巨聲波清洗

  • DI 節約用水

  • 透過刷子傳送

  • 線上混合稀釋

OnTrak 零件支援

Entrepix 不僅為新一代 DSS-200 清潔器提供高品質的 OEM 元件,也為 Lam OnTrak DSS Series 1、Series 2 Classic 和 CE、Synergy 和 Integra 平台提供高品質的 OEM 元件。

所有 OnTrak 零件的選擇或設計都符合甚至超越原廠標準。我們提供徹底的進貨和出貨檢查,以確保客戶得到所需的產品。

Entrepix 為新型 OnTrak DSS-200 清潔器和 Lam OnTrak DSS Series 1、Series 2 Classic 和 CE、Synergy 和 Integra 平台提供高品質元件。

PM 套件自訂解決方案

無論您擁有的是全新的 DSS-200 標準組態,或是已使用數十年的 OnTrak 系統,且具有多種客製化設定,我們都能為您提供 PM 套件。 我們的專家和工程師團隊可以為您提供符合您需求的最佳解決方案,並為您的特定應用組裝 PM 套件。

 Entrepix 2 系列 CEEntrepix SynergyEntrepix Integra
清潔方法刷子磨砂刷子磨砂刷子磨砂
整合式沒有沒有
刷子類型滾筒 PVA滾筒 PVA滾筒 PVA
下壓力控制
邊緣磨砂選購選購選購
MegPie™ Megasonic 傳感器選購選購選購
Megasonic 噴嘴選購選購選購
高壓 DI 水噴霧選購選購選購
加熱 DI 供水選購選購選購
乾燥方式旋轉 +加熱燈旋轉 +加熱燈旋轉 +加熱燈
NH4OH
dHF沒有
SC-1預稀釋:是
SC-2檸檬基:是以 Citric 或 HCL 為基礎:是以 Citric 或 HCL 為基礎:是
背面化學品
金屬 CMP 洗淨
STI CMP 清潔
雙封閉製程區沒有