新 Entrepix
新一代 OnTrak 系統來了，直接來自 OEM
現代化的 Entrepix DSS-200 雙面後 CMP 晶圓清洗機提供了與傳統 OnTrak 系統相同的熟悉功能，並針對當今清洗製程需求進行了大量升級。
身為 OnTrak 系統的 OEM，Entrepix 已設計出新的 DSS-200 OnTrak，提供您可信賴的可靠度與長效性支援與備件。
我們的 DSS-200 清潔員提供：
基於 Windows™ 的現代化控制系統
採用先進精密觸控技術處理超薄與易碎基板
可與傳統 OnTrak 系統進行零件交換
適用於 100-200mm 基板的配置
使用客製化設計的載具，可容納較小的晶圓
DSS-200 的應用包括
CMP 後清潔
粘接前清潔
攝影前清潔
先進封裝應用
金屬沉積後
後 ILD 沉積
訂閱後
基板製造
專為 DSS-200 設計的全新 Entrepix enTrak 控制系統，能將工具可靠性提升至最高，避免因設備過時而導致的停機時間，並簡化設定流程與使用者存取方式。
基於 Windows™ 的現代化系統
強大的晶圓回收功能
透過事件記錄強化可追溯性
採用基於角色的存取控制（RBAC）的進階安全性
可自訂的警報訊息
機器人示教畫面實作，以實現快速設定
簡易的升級流程
OnTrak 升級
具有 OEM 支援的傳統 OnTrak 系統升級選項可供您使用，隨時待命。升級選項包括
控制系統與軟體升級
哈氏合金旋轉滑架
高效率加熱燈
巨聲波清洗
DI 節約用水
透過刷子傳送
線上混合稀釋
晶圓尺寸變更套件（含客製化尺寸）
OnTrak 零件支援
Entrepix 不僅為新一代 DSS-200 清潔器提供高品質的 OEM 元件，也為 Lam OnTrak DSS Series 1、Series 2 Classic 和 CE、Synergy 和 Integra 平台提供高品質的 OEM 元件。
所有 OnTrak 零件的選擇或設計都符合甚至超越原廠標準。我們提供徹底的進貨和出貨檢查，以確保客戶得到所需的產品。
PM 套件自訂解決方案
無論您擁有的是全新的 DSS-200 標準組態，或是已使用數十年的 OnTrak 系統，且具有多種客製化設定，我們都能為您提供 PM 套件。 我們的專家和工程師團隊可以為您提供符合您需求的最佳解決方案，並為您的特定應用組裝 PM 套件。
| Entrepix 2 系列 CE | Entrepix Synergy | Entrepix Integra | |
|---|---|---|---|
| 清潔方法 | 刷子磨砂 | 刷子磨砂 | 刷子磨砂 |
| 整合式 | 沒有 | 沒有 | 是 |
| 刷子類型 | 滾筒 PVA | 滾筒 PVA | 滾筒 PVA |
| 下壓力控制 | 是 | 是 | 是 |
| 邊緣磨砂 | 選購 | 選購 | 選購 |
| MegPie™ Megasonic 傳感器 | 選購 | 選購 | 選購 |
| Megasonic 噴嘴 | 選購 | 選購 | 選購 |
| 高壓 DI 水噴霧 | 選購 | 選購 | 選購 |
| 加熱 DI 供水 | 選購 | 選購 | 選購 |
| 乾燥方式 | 旋轉 +加熱燈 | 旋轉 +加熱燈 | 旋轉 +加熱燈 |
| NH4OH | 是 | 是 | 是 |
| dHF | 沒有 | 是 | 是 |
| SC-1 | 預稀釋：是 | 是 | 是 |
| SC-2 | 檸檬基：是 | 以 Citric 或 HCL 為基礎：是 | 以 Citric 或 HCL 為基礎：是 |
| 背面化學品 | 是 | 是 | 是 |
| 金屬 CMP 洗淨 | 是 | 是 | 是 |
| STI CMP 清潔 | 是 | 是 | 是 |
| 雙封閉製程區 | 沒有 | 是 | 是 |
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