全新 Entrepix DSS-200
現代化的 OnTrak 已針對增加產能進行最佳化,為未來做好準備
新一代 OnTrak 系統來了,直接來自 OEM
現代化的 Entrepix DSS-200 雙面後 CMP 晶圓清洗機提供了與傳統 OnTrak 系統相同的熟悉功能,並針對當今清洗製程需求進行了大量升級。
身為 OnTrak 系統的 OEM,Entrepix 已設計出新的 DSS-200 OnTrak,提供您可信賴的可靠度與長效性支援與備件。
我們的 DSS-200 清潔員提供:
可與傳統 OnTrak 系統進行零件交換
過時零件的更換與現代化
適用於 100-200mm 基板的配置
使用客製化設計的載具,可容納較小的晶圓
DSS-200 有三種配置:CE、Synergy 和 Integra。
DSS-200 的應用包括
CMP 後清潔
粘接前清潔
攝影前清潔
先進封裝應用
金屬沉積後
後 ILD 沉積
訂閱後
基板製造
OnTrak 升級
具有 OEM 支援的傳統 OnTrak 系統升級選項可供您使用,隨時待命。升級選項包括
控制系統與軟體升級
哈氏合金旋轉滑架
高效率加熱燈
巨聲波清洗
DI 節約用水
透過刷子傳送
線上混合稀釋
OnTrak 零件支援
Entrepix 不僅為新一代 DSS-200 清潔器提供高品質的 OEM 元件,也為 Lam OnTrak DSS Series 1、Series 2 Classic 和 CE、Synergy 和 Integra 平台提供高品質的 OEM 元件。
所有 OnTrak 零件的選擇或設計都符合甚至超越原廠標準。我們提供徹底的進貨和出貨檢查,以確保客戶得到所需的產品。

PM 套件自訂解決方案
無論您擁有的是全新的 DSS-200 標準組態,或是已使用數十年的 OnTrak 系統,且具有多種客製化設定,我們都能為您提供 PM 套件。 我們的專家和工程師團隊可以為您提供符合您需求的最佳解決方案,並為您的特定應用組裝 PM 套件。
Entrepix 2 系列 CE | Entrepix Synergy | Entrepix Integra | |
---|---|---|---|
清潔方法 | 刷子磨砂 | 刷子磨砂 | 刷子磨砂 |
整合式 | 沒有 | 沒有 | 是 |
刷子類型 | 滾筒 PVA | 滾筒 PVA | 滾筒 PVA |
下壓力控制 | 是 | 是 | 是 |
邊緣磨砂 | 選購 | 選購 | 選購 |
MegPie™ Megasonic 傳感器 | 選購 | 選購 | 選購 |
Megasonic 噴嘴 | 選購 | 選購 | 選購 |
高壓 DI 水噴霧 | 選購 | 選購 | 選購 |
加熱 DI 供水 | 選購 | 選購 | 選購 |
乾燥方式 | 旋轉 +加熱燈 | 旋轉 +加熱燈 | 旋轉 +加熱燈 |
NH4OH | 是 | 是 | 是 |
dHF | 沒有 | 是 | 是 |
SC-1 | 預稀釋:是 | 是 | 是 |
SC-2 | 檸檬基:是 | 以 Citric 或 HCL 為基礎:是 | 以 Citric 或 HCL 為基礎:是 |
背面化學品 | 是 | 是 | 是 |
金屬 CMP 洗淨 | 是 | 是 | 是 |
STI CMP 清潔 | 是 | 是 | 是 |
雙封閉製程區 | 沒有 | 是 | 是 |