設備升級

Entrepix 的 OEM 級升級可提供更高的效率、準確性和可靠性。

Entrepix 可以升級 OnTrak 功能的多個面向：更換硬體和軟體、更新控制系統、資料系統和日誌檔案、基於模組的晶圓回復、刷子和滑座馬達、哈氏合金滑座、熱燈安全和產量。

OnTrak 升級

Entrepix 可以升級 OnTrak 功能的許多方面：

  • 更換硬體與軟體、更新控制系統

  • 資料系統和記錄檔

  • 基於模組的晶圓回收

  • 電刷和滑座馬達

  • 哈氏合金滑架

  • 加熱燈的安全性和產量

  • DI 水和流量監視器

  • 線上混合稀釋改裝

  • USB 和固態硬碟

  • 五指晶圓夾持器

  • 電源改造

  • 多氯聯苯

  • 過時元件更換

應用材料公司 Mirra 升級

Entrepix 創造升級、替換零件、客製化解決方案和預防性維護服務，以維持和改善 Mirra 平台未來 10 到 15 年的效能。

可用的升級包括

  • 頭部旋轉馬達驅動器

  • 掃頭馬達驅動器

  • 濕式機器人驅動器

  • 馬達組件升級與更換

  • 上氣壓組件 (UPA)

  • UPA 搬遷

  • 氣動旋轉接頭和滑環組件的替換件

  • 高彈性電纜管理

  • 晶圓滑移（損失）感測器

  • DDF3 墊片調節器組裝和升級

  • Mirra 磁頭更換解決方案

  • 透明外殼

  • 印刷電路板

  • 完整替換組件

  • 上光頭測試儀

  • 校準與測試設備

  • 泥漿和化學品流量控制

  • 雙顯示器替換

  • 直流電源供應器抽屜和固態硬碟機

  • 減少晶片破損

  • HCLU 和拋光頭耗材

 

應用材料 Reflexion® 升級

Entrepix 已進入 300mm 設備市場，提供升級、更換零件、客製化解決方案和維護服務，以維持和改善 HVM 所使用的 Reflexion® 平台，使其在未來數年內持續運作。

可用的升級包括

  • 馬達組件升級與更換

  • 上氣壓組件 (UPA)

  • UPA 搬遷（傳統 3 區和 4 區）

  • 氣動旋轉接頭和滑環組件的替換件

  • DDF3 墊片調節器組裝和升級

  • Reflexion 磁頭更換解決方案 (Titan、Profiler、Contour、Evo、Horizon)

  • 透明封面

  • 用於減少 PM 的鐵氟龍塗層

  • 完整的替換組件

  • Entegrity 拋光頭測試儀

  • 校準與測試設備

  • 泥漿和化學品流量控制

  • 清潔器、裝載杯和拋光頭耗材