AMAT Reflexion®
Entrepix 為 Applied Materials Reflexion® 3600、Reflexion LK 3800、Reflexion LK Prime® 及 Reflexion LK Prime® S 整合式 CMP 工具提供零件、升級、服務及翻新服務和翻新工具。
您的 Reflexion® 來源
拋光機更換零件
Entrepix 是 AMAT Reflexion® CMP 系統替換零件的最佳來源 - 即使這些零件已經過時。無論您是為 UPA 系統尋找簡單的壓力傳感器、過時的馬達驅動器，還是需要全新、完全組裝且經過嚴格測試的拋光頭或拋光墊調節器，我們都能滿足您的需求。
波蘭頭重建
我們經驗豐富的設備工程師是重建所有類型、尺寸和配置的 CMP 磁頭的專家，包括 3 區 Titan、4 區 Profiler、6 區 Contour、8 區 Evo 和 12 區 Horizon。 我們擁有各種工具和知識，讓您每次都能在第一時間獲得最佳功能的壓頭。
翻新 Reflexion®，為您服務
需要在不採購全新平台的情況下擴展您的 300mm CMP 功能嗎？Entrepix 可以翻新您現有的 Reflexion® 工具，也可以採購和翻新額外的工具，其中包括：
Reflexion® 3600
Reflexion® LK 3800
Reflexion® LK Prime®
Reflexion® LK Prime® S
AMAT Reflexion 升級
Entrepix 提供許多應用材料公司的 Reflexion® 平台升級，包括全方位的 Teflon 塗層服務、更容易維護和監控的透明組裝蓋，以及針對利基需求的特定製程解決方案。
點選下方查看我們完整的 AMAT Reflexion® 升級清單。