客製化設備，針對您的需求量身打造

從需要特殊客製化的應用到我們的設備產品，以及為您的系統開發預先設計的 CMP 或清洗模組，Entrepix 都能提供協助。

客製化 OnTrak DSS-200 工具

Entrepix 設計了客製化的 DSS-200 OnTrak，刷子盒蓋、旋轉和輸出蓋均塗上黑色，以防止感光晶圓、HEPA 風扇過濾器等受到損害。

我們設計了這款客製化的 DSS-200 OnTrak，以滿足一位客戶的獨特情況。量身打造的功能包括

  • 塗黑的刷子盒蓋以及旋轉和輸出蓋，可防止損壞感光晶圓

  • 專門的刷蓋設計，可兼作卡匣排隊站

  • HEPA 風扇過濾裝置可在清洗後的工作站建立層流氣流

  • 客製化設定的流體輸入口和排水口貫穿工具左端，以適應獨特的無塵室佈局

 將 200mm 清潔技術應用於 300mm

Entrepix 已將 200mm 及以下的清洗技術改良為可在 300mm 模組化格式中運作。
Entrepix 已將 200mm 及以下的清洗技術改良為可在 300mm 模組化格式中運作。

我們已將 200mm 及以下的清洗技術改良為適用於 300mm 的模組化格式，將我們的領先技術帶到更廣闊的市場。 我們的技術現在就可以整合到您的設備中。

 符合您需求的模組化清潔

我們久經考驗的 OnTrak DSS-200 的清洗技術現在可以整合到您的晶圓處理系統中！ 超過十億片的晶圓在 OnTrak 工具中循環使用，我們提供完全符合您需求的可靠、交鑰匙式清洗模組解決方案。

取得客製化產品

想要您的應用程式獨有的選項？需要尚不存在的東西？我們可以為您製作。請告訴我們您的需求，我們會盡快回覆。