翻新 SpeedFam IPEC CMP 研磨機
Entrepix 可以翻新四種不同型號的 SpeedFam IPEC CMP 研磨機。
SpeedFam IPEC Avanti 472
規格與功能：
全自動精密 CMP 工具
晶圓平面化從 100 公釐到 200 公釐
適用於可重複的材料拋光應用，具備操作與加工彈性
自動化晶圓處理
雙壓板、兩步拋光處理能力可最大化晶圓產能與品質
使用拋光研磨液去除半導體材料，使晶圓平面化，以達到平面度和均勻度
提供全自動精密拋光、加工彈性及可重複的結果
晶圓尺寸為 2 吋、3 吋、100 公釐、125 公釐、150 公釐及 200 公釐
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