Entrepix 創新提升 Reflexion® LK Prime® 可靠性

美國亞利桑那州 PHOENIX，2024 年 12 月 17 日 - 全球公認的 CMP 和晶圓清洗專家、Amtech Systems, Inc. 的子公司 Entrepix, Inc. 欣然推出其最新產品 LK Prime 墊片調節器萬向彎曲桿。這款增強型調節器萬向節彎曲裝置專為減少 Applied Materials Reflexion LK Prime CMP 系統的停機時間而設計，可透過最佳化的幾何形狀和優異的結構材料減少破損。

"Entrepix 銷售與行銷總監 Tyler Carter 表示：「這款增強型撓曲提供了卓越的價值，並能在短時間內收回成本。"此零件的 OEM 版本因材料脆和幾何形狀薄而失敗率高。我們的重新設計消除了這些問題，顯著提高了可靠性 - 所有這些都不會影響調節過程，"Carter 補充道。

 升級後的 LK Prime 墊片調節器萬向節彎曲帶來的好處從降低成本開始，延伸到可靠性的多個層面，包括減少停機時間，以及減少因意外故障造成的晶圓報廢。 如果將維護人員等因素計算在內，這些優勢將更加複雜。 

 此升級是 Entrepix 廣泛的 300mm Reflexion CMP 系統增強和替換零件組合的一部分，其中包括：

• 具成本效益的更換零件

• 升級的替換零件和組件

• 支援所有磁頭類型的備件與重建，包括 8 區 Evo 與 12 區 Horizon

• 專業的工具翻新與採收能力

• 各種馬達和驅動器

 此外，Entrepix 還提供全面的服務和支援解決方案，包括現場支援與定期合約選項、壓盤塗層服務，以及拋光頭、墊片調節器、機械手、橫毂 (3600 和 3800)、負載杯、上氣動裝置，甚至整個工具的重建服務。 

 透過結合創新產品與廣泛的服務項目，Entrepix 強化了其幫助客戶在整個 CMP 系統中實現最佳性能和可靠性的承諾。

 Reflexion 和 LK Prime 是應用材料公司的註冊商標。 如需有關 Entrepix 及其產品的更多資訊，請造訪www.entrepix.com。

若要購買或索取樣品，請造訪我們的 Shopify 商店連結： https://shop.entrepix.com/collections/reflexion

 關於 Entrepix Inc.

Entrepix Inc. 是 Amtech Group 的成員之一，是全球公認的先進晶圓清洗設備和化學機械拋光 (CMP) 技術與服務的領導者。Entrepix 非常注重創新和技術專長，提供 CMP 和晶圓清洗的尖端能力。其全面的 CMP 解決方案可針對各種材料和基板尺寸（包括碳化矽 (SiC) 晶圓和其他 III-V 材料）實現最高級別的平面化和表面品質。利用最先進的設備和專有製程，Entrepix 提供客製化的 CMP 解決方案，滿足當今半導體製程的嚴格要求。此外，他們在碳化矽晶圓清洗方面的專業技術，可確保以碳化矽為基礎的應用的特殊清潔度和表面處理。Entrepix 致力於以客戶為導向的開發，以發掘未被滿足的市場需求，使其成為半導體產業 CMP 和晶圓清洗需求值得信賴的合作夥伴。

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公司聯絡人：

Shashi Gupta
高級副總裁兼總經理
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