一般清潔與檢查

清潔和潤滑所有軌道和驅動器

基準設備

負載校準

壓紙器用盡

頭部/手臂掃描校正

載紙架和壓紙板耗盡

向下力校正

背壓校正

墊片調節器操作檢查

卸載校準

解決工具特有的問題

特定於成套設備的附加項目

檢查和校準處理

旋轉站功能檢查

更換刷輥皮帶

校準刷子平行度

檢查所有氣壓缸

輸入站滾輪和皮帶

更換輸入站 O 形環

輸出站驅動皮帶

刷子站驅動器校準

刷子站 O 形環

調整輸出站

檢查升降器頂端

基線評估

備份資料檔案

檢視並處理錯誤記錄

驗證真空度

處理測試

清潔和潤滑平台

檢查平台中心偏移、正交性和偏心率

檢查扁平/缺口找平燈

測試強度監視器

測試 HeNe 和 IR 雷射強度

檢查顯微鏡燈管的均勻性

校準所有波長